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干式螺桿真空泵的五種分類

更新時間:22/09/13 16:06:09     來源:
  干式螺桿真空泵由泵體、泵蓋、圓盤、機(jī)械密封、葉輪、電動機(jī)等零部件組成。干式螺桿真空泵主要可以分為以下5類:
  1、雙圓裂片式:
  雙圓裂片式設(shè)計和目前流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常類似。事實上,一些早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來的。這種多級設(shè)計使得氣體通路非常復(fù)雜,并且每一級都需要很大流量的氮?dú)獠拍芷鸬较♂尯透綦x作用。同時,為了可以實現(xiàn)更好的真空度,對各級的間隙有非常嚴(yán)格要求。當(dāng)然,干式螺桿真空泵這種設(shè)計正是因為增加了內(nèi)部壓縮比而使其耗電量相對比較低。
  2、三葉圓裂片式:
  三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理是相同的,它只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份,雙圓裂片式設(shè)計是分為兩份的。三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計有著相同的優(yōu)缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量,有的廠家在傳動部分選用兩個直流馬達(dá),但這也會導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動能力下降。同雙圓裂片式設(shè)計相同,三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要更大流量的氮?dú)獠趴梢云鸬较♂尯透綦x作用。
  3、組合式(羅茨+爪):
  組合式(羅茨+爪)設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路和圓裂片式設(shè)計完全一樣。也有廠家將其后一級改為星型設(shè)計,這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就好比三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝當(dāng)中,組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮?dú)獠趴梢云鸬较♂尯透綦x作用。
  4、外部壓縮型螺桿式:
  在外部壓縮型螺桿式的設(shè)計中,使用一對等距的螺桿。這使得內(nèi)部壓縮可以減到更小,同時使得氣體通路較短也更加簡單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留時間也是比較短的。雖然這種設(shè)計是因為減少了內(nèi)部壓縮比,而使得其耗電量相對比較高,但在很多復(fù)雜半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出非常高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮?dú)庥昧恳笠卜浅P《冶容^簡單的,這樣就使得其在不同工藝中有非常好的互換性。在很多工藝中甚至可以不需要氮?dú)狻?/span>
  5、內(nèi)部壓縮型螺桿式:
  除了使用一對非等距螺桿以外,外部壓縮型螺桿式設(shè)計和內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常類似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。在很多工藝中,這種內(nèi)部壓縮同多級泵相同,更容易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或者液化現(xiàn)象。
  雖然干式螺桿真空泵的種類越來越多,但是通常的機(jī)械真空泵如爪式泵,其抽速難以做大,而且制造難度也大,成本高;另外還有利用多葉級數(shù)進(jìn)行串連的羅茨泵,其缺點(diǎn)與爪式泵相仿。

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